ȸ»ç¼Ò°³
1. »ç¸í: ¢ß ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º – Parm Systems Corp.
2. º»»ç: °æ±âµµ ¼ö¿ø½Ã À§Ä¡
3. Áö»ç: ¹Ì±¹(½Ç¸®Äܹ븮),ÀϺ»(Tokyo),½Ì°¡Æú
4. Àοø: 100¸í(¹Ì±¹,ÀϺ»,½Ì°¡Æú Áö»ç Æ÷ÇÔ)
5. À۳⠸ÅÃâ¾×: 120¾ï¿ø(¼öÃâ 90¾ï¿ø)
6. ±âŸ: ÄÚ½º´Ú(Kosdaq) µî·Ï Áغñ Áß
7. ȸ»ç¼Ò°³: Park SystemsÀº ±âÁ¸ÀÇ ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ±â¼úÀ» Çõ½ÅÇÏ¿© ºü¸£°í Á¤È®ÇÑ Â÷¼¼´ë ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ XE Series¿Í ÀÚµ¿ÈµÈ »ê¾÷¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀ» °³¹ß, Á¦ÀÛÇÏ´Â ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù. Áö³ 20¿© ³â°£ÀÇ °æÇè°ú ÃàÀûµÈ ³ëÇÏ¿ì·Î ¸¸µé¾îÁø Park SystemsÀÇ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀº ±âÁ¸ÀÇ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡ ºñÇØ ±âº» ±¸Á¶ºÎÅÍ ´Ù¸¥ ¸Å¿ì ÁøÈµÈ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀÔ´Ï´Ù. ´Ü¼øÈ÷ ¼±Áø±¹ Á¦Ç°À» ±¹»êÈÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå ¿ì¼öÇÑ ³ª³ë°èÃøÀåºñ¸¦ Çѱ¹¿¡¼ °³¹ßÇÏ´Â ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÚµ¿ÈµÈ »ê¾÷¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀ» °³¹ß, ÆǸÅÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±âÁ¸ÀÇ ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ±â¼úÀ» Çõ½ÅÇÏ¿© ºü¸£°í º¸´Ù Á¤È®ÇÑ Â÷¼¼´ë ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ XE Series¸¦ °³¹ß ¹× ±¹»êÈ Çϴµ¥ ¼º°øÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Áö³ 20³â°£ÀÇ °æÇè°ú ÃàÀûµÈ ³ëÇÏ¿ì·Î ¸¸µé¾îÁø XE´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡ ºñÇØ ¼³°è °³³äºÎÅÍ ´Ù¸¥ Å©°Ô ÁøÈµÈ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ´Â ´Ü¼øÈ÷ ¼±Áø±¹ Á¦Ç°À» ±¹»êÈÇѵ¥ ±×Ä¡´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ´õ ¾Õ¼± Á¦Ç°À» Çѱ¹¿¡¼ ¸ÕÀú °³¹ßÇß´Ù´Â µ¥¼ Å« Àǹ̸¦ °®½À´Ï´Ù.
´ç»ç´Â ±â¾÷ÀÇ ¿ÜÇüº¸´Ù´Â ¾ÆÀ̵ð¾î¿Í ±â¼ú·ÂÀÌ °æÀï·ÂÀÇ ÇÙ½ÉÀ̶ó´Â À̳äÇÏ¿¡ ¿ì¼öÇÑ ±â¼úÀηÂÀ» ±ÔÇÕ, ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò¸¦ ¼³¸³ÇÏ¿´°í, º´¿ªÆ¯·Ê¾÷ü·Î ÁöÁ¤ ¹Þ¾ÒÀ¸¸ç °ø¾÷±â¹Ý±â¼ú°³¹ß»ç¾÷¿¡ ¼±Á¤µÇ¾î »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ·ÎºÎÅÍ ¿¬±¸ºñ¸¦ Áö¿ø ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ ³ª³ë°èÃøºÐ¼®¿¬±¸½ÇÀÌ °úÇбâ¼úºÎ°¡ ¼±Á¤ÇÑ ±¹°¡ÁöÁ¤¿¬±¸½Ç(NRL : National Research Laboratory)¿¡ ÁöÁ¤µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
* »ý»êÁ¦Ç°(¼ºñ½º¼Ò°³)
¿øÀÚÇö¹Ì°æ Á¦Á¶ ¾÷ü(ATOMIC FORCE MICROSCOPE)
ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ÷´Ü °èÃø ÀåºñÀÎ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ (Scanning Probe Microscope)À» °³¹ß, Á¦ÀÛ, ÆǸÅÇÏ´Â º¥Ã³±â¾÷À¸·Î¼, 1997³â 4¿ù¿¡ ¼³¸³µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ Ã¢¾÷ÀÚÀÎ ¹Ú»óÀÏ ¹Ú»ç´Â º»ÀÎÀÌ Ú¸ ½ºÅÄÆ÷µå ´ëÇп¡¼ °³¹ßÇÑ ¿øÀÚ Çö¹Ì°æ±â¼úÀ» Á¦Ç°ÈÇÏ°íÀÚ 1988³â ¹Ì±¹¿¡¼ Park Scientific Instruments (PSI)¸¦ â¾÷, ÀüÇüÀûÀÎ ½Ç¸®Äܹ븮ÀÇ º¥Ã³±â¾÷À¸·Î ¼º°ø½ÃŲ ¹Ù ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿øÀÚÇö¹Ì°æÀº ¼öõ¸¸¹èÀÇ ¹èÀ²·Î ¹°ÁúÀÇ ¿øÀÚ´ÜÀ§±îÁö º¼ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ÃÊÁ¤¹Ð ÃøÁ¤ÀåºñÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀÌ Áø°ø¿¡¼¸¸ ÀÛµ¿µÇ´Â µ¥ ºñÇØ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀº ´ë±âÁß¿¡¼µµ »ç¿ë °¡´ÉÇÏ°í, ¹°Ã¼ÀÇ Çü»ó »Ó¸¸ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ½Ã·áÀÇ Àü±âÀû, ÀÚ±âÀû, ¹°¸®Àû Ư¼º µîµµ ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö ÀÖ¾î¼ ¹ÝµµÃ¼, HDD, FPD´Â ¹°·Ð Á¤¹Ð ÈÇÐ, ºÐÀÚ »ý¹°ÇÐ µî °¢Á¾ ¿¬±¸¿¡ È°¿ëÀÌ ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ÀÚµ¿ÈµÈ »ê¾÷¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀ» °³¹ß, ÆǸÅÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±âÁ¸ÀÇ ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ±â¼úÀ» Çõ½ÅÇÏ¿© ºü¸£°í º¸´Ù Á¤È®ÇÑ Â÷¼¼´ë ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ XE Series¸¦ °³¹ß ¹× ±¹»êÈ Çϴµ¥ ¼º°øÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Áö³ 20³â°£ÀÇ °æÇè°ú ÃàÀûµÈ ³ëÇÏ¿ì·Î ¸¸µé¾îÁø XE´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡ ºñÇØ ¼³°è °³³äºÎÅÍ ´Ù¸¥ Å©°Ô ÁøÈµÈ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ´Â ´Ü¼øÈ÷ ¼±Áø±¹ Á¦Ç°À» ±¹»êÈÇѵ¥ ±×Ä¡´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ´õ ¾Õ¼± Á¦Ç°À» Çѱ¹¿¡¼ ¸ÕÀú °³¹ßÇß´Ù´Â µ¥¼ Å« Àǹ̸¦ °®½À´Ï´Ù.
ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ±â¾÷ÀÇ ¿ÜÇüº¸´Ù´Â ¾ÆÀ̵ð¾î¿Í ±â¼ú·ÂÀÌ °æÀï·ÂÀÇ ÇÙ½ÉÀ̶ó´Â À̳äÇÏ¿¡ ¿ì¼öÇÑ ±â¼úÀηÂÀ» ±ÔÇÕ, ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò¸¦ ¼³¸³ÇÏ¿´°í, º´¿ªÆ¯·Ê¾÷ü·Î ÁöÁ¤ ¹Þ¾ÒÀ¸¸ç °ø¾÷±â¹Ý±â¼ú°³¹ß»ç¾÷¿¡ ¼±Á¤µÇ¾î »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ·ÎºÎÅÍ ¿¬±¸ºñ¸¦ Áö¿ø ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ ³ª³ë°èÃøºÐ¼®¿¬
¿¬Çõ
2007³â 03¿ù : ´ëÇ¥ÀÌ»ç - Çѱ¹°øÇÐÇѸ²¿ø "ÀþÀº °øÇÐÀλó" ¼ö»ó
2006³â 08¿ù : ´ëÇ¥ÀÌ»ç - "´à°í ½Í°í µÇ°í ½ÍÀº °øÇбâ¼úÀÎ" ¼±Á¤
2005³â 10¿ù : º¥Ã³±â¾÷°æ¿µ°ü·Ã - öž»ê¾÷ÈÆÀå ¼ö»ó
2005³â 01¿ù : 2004 ´ëÇѹα¹ 10´ë ½Å±â¼ú ¼±Á¤
2004³â 11¿ù : ¼öÃâÀÇ Å¾ ¼ö»ó
2004³â 03¿ù : IR52 À念½Ç»ó ¼ö»ó
2004³â 02¿ù : »ê¾÷±â¼úÇõ½Å´ë»ó ¼ö»ó(ÃÖÇѱâ»ó)
2004³â 01¿ù : XE-System¿¡ °üÇÑ ¹Ì±¹Æ¯Çã ȹµæ
2003³â 10¿ù : CE Mark ȹµæ
2003³â 07¿ù : NT Mark ȹµæ
2003³â 04¿ù : ¹Ì±¹ ÇöÁö¹ýÀÎ PSIA Inc ¼³¸³
2002³â 09¿ù : XE-100 ù ¼öÃâ (Univ. of Mass. Lowell)
2002³â 07¿ù : ¹Ì±¹ Ambios Technology¿Í ÆǸŴëÇà °è¾à ü°á
2002³â 02¿ù : Â÷¼¼´ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ XE-100 Ãâ½Ã
2002³â 02¿ù : XE SPM¿¡ °üÇÑ ¹Ì±¹Æ¯ÇãÃâ¿ø (S/N 10/077,835)
2001³â 02¿ù : DC-EFM¿¡ °üÇÑ ¹Ì±¹Æ¯Çãȹµæ (6,185,991)
2001³â 01¿ù : ¼º³² »ç¾÷ÀåÀ¸·Î È®Àå ÀÌÀü
2000³â 11¿ù : ´ëÇü¾×Á¤±âÆÇ¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ SM5-L6072³³Ç°
2000³â 04¿ù : ÇѸ²Ã¢Åõ, ¿ì¸®±â¼úÅõÀÚ µîÀ¸·ÎºÎÅÍ 2Â÷ ÀÚº»ÁõÀÚ
2000³â 04¿ù : °úÇбâ¼úºÎ ÁÖ°ü ±¹°¡ÁöÁ¤¿¬±¸½Ç(National Research Laboratory) ¼±Á¤
1999³â 04¿ù : ¾çÀ絿 »ç¾÷ÀåÀ¸·Î È®Àå ÀÌÀü
1998³â 10¿ù : »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ ÁÖ°ü »ê¾÷±â¹Ý±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ ¼±Á¤
1998³â 07¿ù : Áß¼Ò±â¾÷û º¥Ã³±â¾÷ È®ÀÎ
1998³â 03¿ù : Áõ±Ç°ü¸®À§¿øȸ ¹ýÀεî·Ï
1998³â 02¿ù : DC-EFM¿¡ °üÇÑ ¹Ì±¹Æ¯ÇãÃâ¿ø (S/N 09/024,829)
1997³â 12¿ù : º´¿ªÆ¯·Ê¾÷ü ÁöÁ¤
1997³â 07¿ù : ±â¾÷ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò ¼³¸³
1997³â 06¿ù : KTBµîÀ¸·ÎºÎÅÍ 1Â÷ ÀÚº»ÁõÀÚ
1997³â 04¿ù : PSIA ÁÖ½Äȸ»ç ¼³¸³