ÁÖ½Äȸ»ç ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º

[¿øÀÍIPS] ¹ÝµµÃ¼ CS ¿£Áö´Ï¾î »ó½Ã¸ðÁý (½ÅÀÔ/°æ·Â)

¸ðÁýºÎ¹® ¹× ÀÚ°Ý¿ä°Ç

¸ðÁýºÎ¹® »ó¼¼³»¿ë
ÀÚ°Ý¿ä°Ç
¤ýÇз :  Àü¹®Çлç ÀÌ»ó/ÀüÀÚ,±â°è, ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º, ¹ÝµµÃ¼,µð½ºÇ÷¹ÀÌÇаú
               ½ÅÀÔ : Àü¹®´ëÇÐ Á¹¾÷ÀÚ ¹×  '23³â 2¿ù Á¹¾÷¿¹Á¤ÀÚ Áß Á¶±â Ãë¾÷ °¡´ÉÀÚ   
               °æ·Â : ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ  CS¿£Áö´Ï¾î 
°æ·Â 1³â ÀÌ»ó 

¤ýCVD/ALD/Metal/Diffusion  µî ÁõÂø Àåºñ ¼³ºñ °æ·ÂÀÚ ¿ì´ë
¤ýÀü°øÁ¤ ¼³ºñ °æ·ÂÀÚ ¿ì´ë 
¤ýÇØ¿ÜÃâÀå °¡´ÉÀÚ (¿Ü±¹¾î ȸȭ°¡´ÉÀÚ ¿ì´ë)
CS¿£Áö´Ï¾î°í°´Áö¿øÆÀ 0¸í

±Ù¹«Áö ¹× ´ã´ç¼³ºñ ¤ý (°æ·Â) ÀÌõ/ûÁÖ : CVD/ALD/Metal/Diffusion 

¤ý (°æ·Â) ÆòÅÃ/È­¼º : CVD/ALD/Metal/Diffusion 
¤ý (½ÅÀÔ) ÆòÅÃ/È­¼º : 
CVD/ALD/Metal

¤ý (½ÅÀÔ) ûÁÖ/ÀÌõ : CVD/ALD/Metal/Diffusion

´ã´ç¾÷¹«¤ý°í°´»ç ´ëÀÀ(Temp TTTM, Mecha Teching, °øÁ¤ Trace, °í°´ VOC´ëÀÀ)
¤ý¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ set up ¹× maintenance
¤ýÀåºñ±â¼ú¹®Á¦ ¹× °áÇÔÁø´Ü, ÇØ°á Á¶Ä¡
¤ý¼³ºñ ¿î¿µ °¡À̵å

±Ù¹«Á¶°Ç

  • ±Ù¹«ÇüÅ : Á¤±ÔÁ÷(¼ö½À±â°£)-3°³¿ù
  • ±Ù¹«Áö¿ª : ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º È­¼º/ÆòÅÃ/ÀÌõ/ûÁÖ »ç¾÷Àå  (°ø°íÈ®ÀÎ Çʼö)

ÀüÇü´Ü°è

  • ¼­·ùÀüÇü > 1Â÷¸éÁ¢ > 2Â÷¸éÁ¢ > ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý

Á¢¼ö¹æ¹ý

»ó½Ãä¿ë

  • Á¢¼ö¹æ¹ý: ÀÚ»ç ȨÆäÀÌÁö

±âŸ À¯ÀÇ»çÇ×

  • ÀÔ»çÁö¿ø¼­ ¹× Á¦Ãâ¼­·ù¿¡ ÇãÀ§»ç½ÇÀÌ ÀÖÀ» °æ¿ì ä¿ëÀÌ Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.