¹ÝµµÃ¼Àåºñ ÇٽɺÎǰ Á¦Á¶±â¾÷À¸·Î ±¹³» À¯¼ö ´ë±â¾÷ 1Â÷ º¥´õ ¾÷üÀÔ´Ï´Ù.
[Æ÷Áö¼Ç] (¹ÝµµÃ¼ Àåºñ) ±â´É¼º ºÎǰ ±â¼ú¿µ¾÷ (´ë¸®~Â÷Àå) [´ã´ç¾÷¹«] - ±â¼ú ¿µ¾÷ ¾÷¹« - ±â´É¼º ºÎǰ(ESC, heater µî) ±¹³» °í°´ ±â¼ú¿µ¾÷ - ±âÁ¸ °í°´¼± °ü¸® ¹× ½Å±Ô °í°´ °³Ã´ [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - Çз : Àü¹®Çлç ÀÌ»ó - °æ·Â : 5 ³â ÀÌ»ó (´ë¸®~Â÷Àå±Þ) - ¿îÀü °¡´É - ÄÄÇ»ÅÍ È°¿ë´É·Â ¿ì¼ö - ÇØ¿Ü¿©Çà °á°Ý»çÀ¯°¡ ¾ø´Â ºÐ [¿ì´ë»çÇ×] - ETCH/CVD ¿£Áö´Ï¾î Ãâ½ÅÀ¸·Î ±â¼ú¿µ¾÷À» °æÇèÇϽŠºÐ - ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¿µ¾÷ °æÇè(Àåºñ, ºÎǰ, ¼ÒÀç, Àç·á µî) - Àü±â/ÀüÀÚ °øÇÐ, ÈÇÐ ¹× ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Àü°ø - ¿Ü±¹¾î °¡´ÉÀÚ [±Ù¹«Áö] °æ±âµµ ¿ëÀνà ¼öÁö |