[ä¿ë»ç] 

¹ÝµµÃ¼Àåºñ ÇٽɺÎǰ Á¦Á¶±â¾÷À¸·Î ±¹³» À¯¼ö ´ë±â¾÷ 1Â÷ º¥´õ ¾÷üÀÔ´Ï´Ù.

[Æ÷Áö¼Ç] (¹ÝµµÃ¼ Àåºñ) ±â´É¼º ºÎǰ ±â¼ú¿µ¾÷ (´ë¸®~Â÷Àå)


[´ã´ç¾÷¹«] 

- ±â¼ú ¿µ¾÷ ¾÷¹« 

- ±â´É¼º ºÎǰ(ESC, heater µî) ±¹³» °í°´ ±â¼ú¿µ¾÷

- ±âÁ¸ °í°´¼± °ü¸® ¹× ½Å±Ô °í°´ °³Ã´ 


[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] 

- Çз :  Àü¹®Çлç ÀÌ»ó 

- °æ·Â :  5 ³â ÀÌ»ó (´ë¸®~Â÷Àå±Þ) 

- ¿îÀü °¡´É 

- ÄÄÇ»Å͠Ȱ¿ë´É·Â ¿ì¼ö  

- ÇØ¿Ü¿©Çà °á°Ý»çÀ¯°¡ ¾ø´Â ºÐ 


[¿ì´ë»çÇ×] 

- ETCH/CVD ¿£Áö´Ï¾î Ãâ½ÅÀ¸·Î ±â¼ú¿µ¾÷À» °æÇèÇϽŠºÐ

- ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¿µ¾÷ °æÇè(Àåºñ, ºÎǰ, ¼ÒÀç, Àç·á µî)

- Àü±â/ÀüÀÚ °øÇÐ, È­ÇР¹× ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Àü°ø

- ¿Ü±¹¾î °¡´ÉÀÚ


[±Ù¹«Áö] °æ±âµµ ¿ëÀνà ¼öÁö