ä¿ë»ç´Â 1994³â ¼³¸³µÇ¾îÇöÀç 190¿©¸íÀÇ ÀοøÀÌ ÀçÁ÷ÁßÀ̸ç,

±¹³» À¯¼ö ´ë±â¾÷ 1Â÷ º¥´õ·Î¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÇٽɺÎǰÀΠmetal heater, AIN heater, ESC heater µîÀ» Á¦Á¶Çϰí,

EFEM°ú N2 heater purge system ±×¸®°í valve ¼³°è ¹× °³¹ß µî »ç¾÷±ºÀ» ³ÐÇô°¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

[Æ÷Áö¼Ç Àλç´ã´ç (°ú~Â÷Àå±Þ)  

 

[´ã´ç¾÷¹«]

Àλç Àü¹Ý ¿î¿µ (HRM)

ÀÎ»ç ±âȹ ¹× ±³À°

 

[ÀÚ°Ý¿ä°Ç]

Çз :  Çлç ÀÌ»ó

°æ·Â :  7~15³â

 

[¿ì´ë»çÇ×]

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ °æ·Â ¼±È£

°øÇÐ º£À̽º Àü°ø ¼±È£

¿Ü±¹¾î ´É·Â ¿ì´ë


[±Ù¹«Áö] °æ±âµµ ¿ëÀνà ¼öÁö