¢ßƼ¾¾ÄÉÀÌ ½ÅÀÔ/°æ·ÂÁ÷ ä¿ë ¼±Çà°³¹ß, ¼³ºñ±â¼ú, ¿µ¾÷3ÆÀ, Batch»ý»êÆÀ(Á¤±ÔÁ÷) »ý»ê°ü¸®ÆÀ(°è¾àÁ÷) ¡¡ ¡¡ ¡¡ ¸ðÁýºÎ¹® ´ã´ç¾÷¹« ¸ðÁý¿ä°Ç ¹× ÀÚ°Ý ¼±Çà°³¹ßÆÀ SiC ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå ¹× ºÐ¼® Çз : ¼®»ç ÇÐÀ§ ÀÌ»ó Àü°ø : Àç·á°øÇÐ, È­ÇаøÇÐ, ¹°¸®ÇÐ °æ·Â : ½ÅÀÔ ¶Ç´Â °æ·ÂÀÚ Çʼö : SiC, GaN µî ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå Àü°ø(CVD, PVT µî) ¿ì´ë : Thermal CVD, Simulation °¡´ÉÀÚ, ¿Ü±¹¾î °¡´ÉÀÚ(¿µ¾î ¶Ç´Â ÀϺ»¾î) ¼³ºñ±â¼úÆÀ À¯Æ¿¸®Æ¼ ¼³ºñ¿î¿µ Çз : ÃÊ´ëÁ¹ Àü°ø : ±â°è°ü·ÃÇаú °æ·Â : ½ÅÀÔ ¶Ç´Â °æ·ÂÀÚ Çʼö : °¡½º»ê¾÷±â»ç ¿ì´ë : Àü±â Àڰݺ¸À¯ÀÚ, °øÁ¶³Ãµ¿ Àڰݺ¸À¯ÀÚ ¿µ¾÷3ÆÀ Áß±¹ ¹× ±¹³» ¿µ¾÷ Çз : ´ëÁ¹ ÀÌ»ó Àü°ø : Àü°ø ¹«°ü °æ·Â : ½ÅÀÔ ¶Ç´Â °æ·ÂÀÚ Çʼö : Áß±¹¾î ¿ì´ë : ¿µ¾î, ÀϺ»¾î, ÀÌ°ø°è °ü·Ã Çаú Batch»ý»êÆÀ CVD¼³ºñ ¹× °í¼øÈ­¼³ºñ ÇöÀå¾÷¹« Çз : °íÁ¹ÀÌ»ó Àü°ø : ±â°è, È­ÇÐ Àü°øÀÚ ¿ì´ë °æ·Â : ½ÅÀÔ ¶Ç´Â °æ·ÂÀÚ Çʼö : ¹«°ü ¿ì´ë : Áö°ÔÂ÷ÀÚ°ÝÁõ ¼ÒÁöÀÚ »ý»ê°ü¸®ÆÀ (°è¾àÁ÷) ¿ø¼ÒÀç ¹× ¹ÝÁ¦Ç° ÀÔÃâ°í Àç°í°ü¸® ¿ø¼ÒÀç Àý´Ü ¾÷¹« ´ã´ç¾÷¹« : ÀÚÀçÀÔÃâ°í ¹× ¿ø¼ÒÀç Àý´Ü ¾÷¹« Çз : °íÁ¹ÀÌ»ó Àü°ø : ¹«°ü °æ·Â : ½ÅÀÔ ¶Ç´Â °æ·ÂÀÚ Çʼö : Áö°ÔÂ÷ ¿îÀü °¡´ÉÀÚ ¿ì´ë : Áö°ÔÂ÷ ¿îÀü °æ·ÂÀÚ ¿ì´ë ¡Ø °øÅë»çÇ× ¡¡ ¡¡ 1] °¢ ºÎºÐº° ¿¬ºÀÀº ´ç»ç ±ÔÁ¤¿¡ µû¸§ 2] Á¤±ÔÁ÷, °è¾àÁ÷ °æ·Â¸¸ ÀÎÁ¤µÇ¸ç, °æ·ÂÁõ¸í¼­ ¶Ç´Â 4´ëº¸Çè °¡ÀÔ ÀÌ·ÂÀ¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ·Â¸¸ ÀÎÁ¤µÊ 3] °æ±âµµ ¾È¼º ÃâÅð±Ù °¡´ÉÀÚ ¶Ç´Â ±â¼÷»ç °ÅÁÖ[¾È¼º] °¡´ÉÀÚ 4] ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÎÇ° Á¦Á¶¾÷ ±Ù¹« °æÇèÀÚ ¿ì´ë ¡Ø 2024³â ½ÅÀÔ ¹× °æ·Â ºÎ¹®º° ä¿ë ÁøÇà ÀÏÁ¤ 1. ¼­·ùÁ¢¼ö : 2024.05.22 ~ 05.29 2. ¼­·ùÆò°¡ : 2024.05.29 ~ 05.31 3. ¸éÁ¢¾È³» : 2024.06.03 ~ 4. ¸éÁ¢ÀýÂ÷ 1) »ç¹«Á÷ : ¼­·ùÁ¢¼ö ¡æ ¼­·ùÆò°¡ ¡æ 1Â÷ ¸éÁ¢(È­»ó ¶Ç´Â ´ë¸é¸éÁ¢) ¡æ 2Â÷ ¸éÁ¢(´ë¸é¸éÁ¢)¡æ ä¿ë Àü °ËÁø ¡æ ÃÖÁ¾ ÇÕ°Ý 2) »ý»êÁ÷ : ¼­·ùÁ¢¼ö ¡æ ¼­·ùÆò°¡ ¡æ 1Â÷ ¸éÁ¢(È­»ó ¶Ç´Â ´ë¸é¸éÁ¢) ¡æ ä¿ë Àü °ËÁø ¡æ ÃÖÁ¾ ÇÕ°Ý ¡Ø ¸éÁ¢ ¾È³»´Â ¼­·ù ÇÕ°ÝÀÚ¿¡ ÇÑÇÏ¿© °³º° ¾È³», ä¿ë ÁøÇà ÀÏÁ¤Àº ´ç»ç »ç³» ÀÏÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ º¯°æµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.