1. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Á¦¾î SW °³¹ß/°ü¸® 1) ¹ÝµµÃ¼ ½Å±Ô Àåºñ(CMP/CLN) PC Á¦¾î SW ¼³°è ¹× °³¹ß 2) ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê Àåºñ PC Á¦¾î SW °ü¸®/°³¼±/À̽´´ëÀÀ - IO / °ø¾Ð / ¼º¸ ¸ðÅÍ Á¦¾î
2. EPD(End Point Detection) SW °³¹ß
1) µðÁöÅÐ ½Åȣó¸® - Algorithm ¹× Filter °³¹ß - ½ÅÈ£ ºÐ¼® ¹× Æò°¡ 2) EPD ÀÀ¿ëS/W °³¹ß/°ü¸®/À̽´´ëÀÀ - ½ÅÈ£ ºÐ¼® Tool °³¹ß - ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê Àåºñ ´ëÀÀ
1) ½ÅÀÔ
2) ÀÌ°ø°è ¼®»ç ÀÌ»ó(¼®¡¤¹Ú»ç ÅëÇÕ°úÁ¤ ¼ö·áÀÚ Æ÷ÇÔ)
3) ÇÁ·Î±×·¡¹Ö ±â¼ú(C, C++, C#)
4) ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °øÇÐ Áö½Ä
5) Àü±â°øÇÐ ¹× ÀüÀÚ°øÇÐ Áö½Ä
6) º´¿ª¹ý µî °ü°è¹ý·É¿¡ µû¶ó Àü¹®¿¬±¸¿ä¿ø ÆíÀÔ/ÀüÁ÷ ÀÚ°ÝÀ» °®ÃáÀÚ(º´¿ª¹ÌÇÊ)
7) ä¿ë ½Åü°Ë»ç ±âÁØ¿¡ °á°Ý»çÀ¯°¡ ¾ø´ÂÀÚ
8) ÇØ¿Ü ÃâÀå¿¡ °á°Ý »çÀ¯°¡ ¾ø´ÂÀÚ
1) °í±Þ ÇÁ·Î±×·¡¹Ö ±â¼ú
2) ÀΰøÁö´É ¹× ¸Ó½Å ·¯´× Áö½Ä
3) SEMI µî ±¹Á¦ »ê¾÷ Ç¥ÁØ Áö½Ä
4) ¿µ¾î ´É·Â
5) ÆÀ¿öÅ© ¹× Ä¿¹Â´ÏÄÉÀÌ¼Ç ´É·Â
6) ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·Â
7) ¾Ë°í¸®Áò °³¹ß / ¼¾¼ ½ÅÈ£ 󸮿¡ °ü½ÉÀÌ ¸¹Àº ºÐ
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