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- Display : Áß¼ÒÇü Sputter, ´ëÇü Sputter, Áß¼ÒÇü PECVD, ´ëÇü PECVD
- ¹ÝµµÃ¼ : Semi Deposion (Sputter, D-RIE Back end Process)
- ¿¬¸ÅÃâ¾× 1800¾ï¿ø, Á÷¿ø¼ö 315¸í
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