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¡¼Ã¤¿ëºÎ¹®¡½ ¹ÝµµÃ¼ Solid precursor °³¹ß(´ë¸®-Â÷Àå±Þ)


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1. Solid precursor¿ë Canister °³¹ß

2. Solid precursor delivery system °³¹ß 

 

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1. Çлç ÀÌ»ó(Àü°ø : È­ÇÐ / È­ÇаøÇÐ ¹× °ü·ÃÇаú) 

2. °ü·Ã °æ·Â 3³â ÀÌ»ó

3.Canister °³¹ß °æÇèÀÚ

4.Solid precursor °ü·Ã ¾÷¹« °æÇèÀÚ


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1. ¿µ¾î °¡´ÉÀÚ ¿ì´ë

2. È­ÇÐ °ü·Ã ÀÚ°ÝÁõ º¸À¯ÀÚ ¿ì´ë

3. È­ÇÐ/È­ÇаøÇÐ ¼®/¹Ú»ç Çз º¸À¯ÀÚ ¿ì´ë


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