¹ÝµµÃ¼ ÀÚµ¿È ÀåºñÀÇ ÇÙ½É Á¦¾î ¼Ö·ç¼ÇÀ» °³¹ßÇÏ´Â ±â¼ú ±â¾÷
¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñÀÇ Wafer ÀÌ¼Û ÀåÄ¡ÀÇ Á¦¾î ¹× SW °³¹ß ´ã´ç Á¤±ÔÁ÷ ä¿ë
¸ðÁýºÎ¹® ¹× ÀÚ°Ý¿ä°Ç
¸ðÁýºÎ¹® | ´ã´ç¾÷¹« | ÀÚ°Ý¿ä°Ç | Àοø |
---|---|---|---|
¹ÝµµÃ¼ |
[´ã´ç¾÷¹«] ¤ý EFEM Àåºñ ³» Wafer ÀÌ¼Û ÀåÄ¡(LPM, ATM, Aligner µî) ¿¬µ¿ ¹× Á¦¾î ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î °³¹ß [±Ù¹«ºÎ¼ ¹× Á÷±Þ/Á÷Ã¥]
Á÷±Þ/Á÷Ã¥: °úÀå ~ ºÎÀå |
[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] °æ·Â: °æ·Â 5³â¡è [¿ì´ë»çÇ×] ÇØ¿Ü¿©Çà¿¡ °á°Ý»çÀ¯°¡ ¾ø´ÂÀÚ ¹ÝµµÃ¼ FAB ³» AMHS¿¡ ´ëÇÑ ÀÚµ¿È ¿¬µ¿°æÇè ¹ÝµµÃ¼ ¶Ç´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ Á¦¾î °æÇè °ü·Ã Çаú Àü°øÀÚ ¼®»ç ÇÐÀ§ ¼ö¿©ÀÚ À¯°ü ¾÷¹« °æ·ÂÀÚ (5³â ÀÌ»ó) Â÷·®¼ÒÁöÀÚ |
0 ¸í |
±Ù¹«Á¶°Ç
ÀüÇü´Ü°è ¹× Á¦Ãâ¼·ù
Á¢¼ö¹æ¹ý
ä¿ë½Ã
±âŸ À¯ÀÇ»çÇ×
00