[Á÷¹«³»¿ë]
¹ÝµµÃ¼½Ä°¢Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½Ä°¢µÈ Pattern Wafer¿¡ ´ëÇØ¼ SEM(scanning electron microscope, ÀüÀÚÇö¹Ì°æ)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ½Ä°¢µÈ PatternÀ» ÃÔ¿µÇÏ°í ºÐ¼®ÇÏ´Â ¾÷¹« ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÛ¾÷ ȯ°æÀº Ç׿ÂÇ×½À °ü¸®°¡ µÇ´Â Å©¸°·ë¿¡¼ ±Ù¹«ÇÕ´Ï´Ù.
[±Ù¹«½Ã°£ ¹× ÇüÅÂ]
ÁÖ 5ÀÏ ±Ù¹«
(±Ù¹«½Ã°£) (¿ÀÀü) 8½Ã 00ºÐ ~ (¿ÀÈÄ) 5½Ã 00ºÐ
ÁÖ¼ÒÁ¤±Ù·Î½Ã°£ : 40½Ã°£
[±Þ¿©Á¶°Ç]
- ¿¬ºÀ
32000000¿ø ÀÌ»ó
- »ó¿©±Ý : 0%
(¹Ì Æ÷ÇÔ)
[Àå¾ÖÀÎä¿ëÈñ¸Á¿©ºÎ]
ºñÈñ¸Á
[º´¿ªÆ¯·Ê]
- ºñÈñ¸Á