ÀÌ·± ÀÏÀ» ÇÕ´Ï´Ù.

´ã´ç ¾÷¹« ¹× ¿ªÇÒ
Cleaning °øÁ¤ ¾ç»ê °ü¸®
    ½Å±Ô Cleaning °øÁ¤ °³¹ß ¹× ÃÖÀûÈ­
      ¼öÀ² °³¼± (Particle reduction, Cleaning Á¶°Ç ÃÖÀûÈ­)
        ºÒ·® ÇØ¼®/ºÐ¼®À» ÅëÇÑ °³¼± Ȱµ¿

          ÀÌ·± ºÐ°ú ÇÔ²² ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.

          Áö¿øÀÚ°Ý
          Çлç ÇÐÀ§ ÀÌ»ó
            °ü·Ã Á÷¹« °æ·Â 8³â ÀÌ»ó
              Wet cleaning (Batch /Single type), Wet Etch, Scrubber ÀåÄ¡ °øÁ¤ °ü¸®/°³¼± ¾÷¹« °æÇèÀÚ

                ÀÌ·± °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ´õ ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.

                ¿ì´ë»çÇ×
                ½Å±Ô Tech, ProductÀÇ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­ ¹× °ËÅä °¡´ÉÇÑ °æÇè º¸À¯

                  ÀÌ·¯ÇÑ ¿©Á¤À¸·Î ÁøÇàµË´Ï´Ù.

                  ÀüÇüÀýÂ÷
                  ¼­·ùÀüÇü > ÇʱâÀüÇü(SKCT) > ¸éÁ¢ÀüÇü > ä¿ë°ËÁø > ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý
                  • ¸ðÁý ºÎ¹® º°·Î ÀüÇü ÀýÂ÷°¡ º¯°æ ¹× Ãß°¡µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

                  ¹Ì¸® È®ÀÎÇØ ÁÖ¼¼¿ä.

                  ±âŸ»çÇ×
                  ûÁÖ ±Ù¹« ½Ã ¹ÌÈ¥ÀÚ¿¡ ÇÑÇØ ±â¼÷»ç Áö¿ø (¡Ø1ÀνÇ, °³Àκδã±Ý ÀϺΠÀÖÀ½)
                    ÀÔ»çÁö¿ø¼­ ¹× ÀÚ°Ý»çÇ×ÀÌ »ç½Ç°ú ´Ù¸£°Å³ª ºÎÁ¤ÇàÀ§°¡ ¹ß°ßµÇ´Â °æ¿ì ÇÕ°Ý ¹× ÀԻ簡 Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
                      ÀÔ»çÁö¿ø¼­³ª °¢Á¾ ¼­·ù¿¡ ŸÀÎÀÇ ¿µ¾÷ºñ¹ÐÀ̳ª ¿µ¾÷ºñ¹Ð Ä§ÇØ·Î ¿ÀÀÎ ³»Áö ¿ì·ÁµÉ ¸¸ÇÑ »çÇ×ÀÌ ÀÖ´ÂÁö ¹Ýµå½Ã È®ÀÎÇϽŠÈÄ ÃÖÁ¾ Á¦ÃâÇÏ¿© Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
                        º¸ÈÆ´ë»óÀÚ ¹× Àå¾ÖÀÎÀÇ °æ¿ì °ü·Ã ¹ý·É¿¡ ÀǰÅÇÏ¿© ¿ì´ëÇÕ´Ï´Ù.