MCT ¿£Áö´Ï¾î (½ÅÀÔ/°æ·Â)
¹ÝµµÃ¼ Si/SiC ¼Ò¸ð¼º ºÎǰ MCT Á¤¹Ð °¡°ø
MCT Àåºñ Á¶ÀÛ ¹× ÇÁ·Î±×·¥ ¼¼ÆÃ, °øÁ¤ Á¶°Ç °ü¸®
Focus Ring µî ¼Ò¸ð¼º ºÎǰ »ý»ê ¹× Ä¡¼ö ÃøÁ¤
ǰÁú°Ë»ç º¸Á¶ ¹× ºÒ·® ºÐ¼® ¡æ °³¼±¾È µµÃâ
»ý»ê°èȹ ¼ö¸³ ¹× ³³±â °ü¸® Áö¿ø
ÀÛ¾÷ ȯ°æ À¯Áö ¹× ÇöÀå °ü¸®, ÀÛ¾÷ÀÚ ±³À° Âü¿©
»ý»ê µ¥ÀÌÅÍ ±â·Ï ¹× º¸°í¼ ÀÛ¼º
±Ù¹«ÇüÅÂ
1. ÁÖ°£ ±Ù¹«ÀÚ
2. ÁÖ¾ß 2±³´ë ±Ù¹«ÀÚ
ÀÔ»ç ÈÄ ÁÖ°£ ±Ù¹« ±³À° > ÁÖ¾ß 2±³´ë ±Ù¹« Àüȯ
½ºÅ¸Æ®¾÷Àθ¸Å ºü¸¥ Áø±Þ ±âȸ