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¹ÝµµÃ¼/MEMS/±â¼ú¿µ¾÷/µµ±Ý/¿¬±¸°³¹ß
¸ðÁýºÎ¹® ¹× ÀÚ°Ý¿ä°Ç
| ¸ðÁýºÎ¹® | ´ã´ç¾÷¹« | ÀÚ°Ý¿ä°Ç | Àοø |
|---|---|---|---|
| ¹ÝµµÃ¼ MEMS ±â¼ú¿µ¾÷ µµ±Ý ¿¬±¸°³¹ß |
[´ã´ç¾÷¹«] ¤ýµµ±Ý °øÁ¤ÀÇ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ¼öÇà (Á¤ºÎ°úÁ¦) |
[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] • ½ÅÀÔ / °æ·Â 1³â ÀÌ»ó ~ 3³â ÀÌÇÏ • ´ëÇÐÁ¹¾÷(2,3³â)ÀÌ»ó, Á¹¾÷ ¿¹Á¤ÀÚ Áö¿ø°¡´É ¤ýµµ±Ý °øÁ¤ ¹× ǰÁú, ºÐ¼® °æÇèÀÌ ÃÖ¼Ò 1³âÀÌ»óÀ̽ŠºÐ (°æ·Â¾øÀÌ ½ÅÀÔÀ̽øé Á¹¾÷Çаú°¡ ÈÇÐ, Àç·á, ½Å¼ÒÀçÀü°øÀÌ¸é ±¦Âú½À´Ï´Ù.) ¤ý¿¬±¸Àü´ãºÎ¼ ÃÖ¼Ò 2³â, ±â¾÷ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò ÃÖ¼Ò 2³â ±Ù¹« °æÇè ¼ÒÀ¯ÀÚ ¿ì´ë ¤ý±â°è ¹× ÈÇÐ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØµµ°¡ ³ôÀ¸½Å ºÐ ¤ýÆÀ¿öÅ© ¹× Ä¿¹Â´ÏÄÉÀÌ¼Ç ´É·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ª½Å ºÐ ¤ýÄÄÇ»ÅÍ È°¿ë ´É·ÂÀÌ ¿ì¼öÇϽŠºÐ (¹®¼ ÀÛ¼º ¹× º¸°í) [¿ì´ë»çÇ×] Àü°ø : Àç·á°øÇкÎ, ÈÇаøÇÐ, ½Å¼ÒÀç ex) ¿¬±¸Àü´ãºÎ¼ µî·Ï°¡´ÉÇϽŠºÐ ¤ý µµ±Ý °ü·Ã ÀÚ°ÝÁõÀ» ¼ÒÁöÇϽŠºÐ ¤ý ¿¬±¸°³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ® (Á¤ºÎ°úÁ¦) °ü¸® °æÇèÀÌ ÀÖÀ¸½Å ºÐ ¤ý ÄÄÇ»ÅÍ È°¿ë´É·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ª½Å ºÐ |
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