[´ã´ç¾÷¹«]
*±ØÀú¿Â ÆßÇÁ °³¹ß ÀÚ¹®
-½Å±Ô ¸ðµ¨ Ãʱ⠼³°è °³³ä ¹× »ó¼¼ ¼³°è ÀÚ¹®
-½ÃÇè Æò°¡ ¹× ¼³ºñ ¿î¿µ ÀÚ¹®

[ÀÚ°Ý¿ä°Ç]
-°æ·Â(20³â ÀÌ»ó)
-±ØÀú¿Â ÆßÇÁ °³¹ß ºÐ¾ß °æ·Â 10³â ÀÌ»ó
-ÆßÇÁ °³¹ß ºÐ¾ß ÃÑ °æ·Â 20³â ÀÌ»ó

[ÇÊ¿ä ±â¼ú]
-ÆßÇÁ ¼³°è(¼ö·Â,±¸Á¶,Ãà°è),±ØÀú¿Â ½ÃÇè

[¿ì´ë»çÇ×]
-¼±Áø»ç(Ebara, Nikkiso/ACD, Cryostar, Shinko)°æ·Â ¿ì´ë