[¿Ü±¹°è] ¹ÝµµÃ¼ °Ç½Ä ½Ä°¢(Dry Etch) ¿£Áö´Ï¾î

¼¼°èÃÖ´ëÀÇ Æ÷Å丶½ºÅ© Á¦Á¶¾÷ü

¸ðÁýºÎ¹® ¹× ÀÚ°Ý¿ä°Ç

¸ðÁýºÎ¹® ´ã´ç¾÷¹« ÀÚ°Ý¿ä°Ç Àοø

¹ÝµµÃ¼

°Ç½Ä ½Ä°¢

¿£Áö´Ï¾î

[´ã´ç¾÷¹«]

- ½Ä°¢ °øÁ¤ ³» °áÇÔ(Defect) ¹ß»ý ¿øÀÎ ÃßÀû ¹× °³¼±, Çٽɠ

  ºÎǰ ÃÖÀûÈ­ ¹× °íµµÈ­µÈ ¿¹¹æ Á¤ºñ(PM) ½Ã³ª¸®¿À µµÃâ

- »ý»ê¼º ±Ø´ëÈ­¸¦ À§ÇÑ ½Ä°¢ °øÁ¤ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ °³¹ß 

  ¹× »ý»ê ÇÁ·Î¼¼½º ÃÖÀûÈ­ ¼öÇà
- ½Å±Ô °í°´»ç Á¦Ç°±º ½ÂÀÎ ¹× ǰÁú Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¸ÂÃãÇü 

  ½Ä°¢ ·¹½ÃÇÇ(Recipe) ¼³°è ¹× ÃÖÀûÈ­
- °øÁ¤ À̽´ ¹ß»ý ½Ã 8D ¸®Æ÷Æ® ÀÛ¼º ¹× ǰÁú Ç¥ÁØ ¹®¼­

 (PF, FMEA, CP, OCAP)ÀÇ Á¦¡¤°³Á¤ °ü¸®

[ÀÚ°Ý¿ä°Ç]

°æ·Â: °æ·Â 5³â¡è
ÇзÂ: ´ëÁ¹
Á÷¹«±â¼ú: ¿£Áö´Ï¾î
±âŸ:
- °Ç½Ä ½Ä°¢ ºÐ¾ßÀÇ ½ÉÈ­ Áö½Ä º¸À¯ (·¹½ÃÇÇ °³¹ß, ¼³ºñ 

  À¯Áöº¸¼ö ÃÖÀûÈ­, °øÁ¤/¼³ºñ ÀÚµ¿È­ ¿ª·® Çʼö)

- ÆÄƼŬ ¼ººÐ ºÐ¼® ¹× µ¥ÀÌÅÍ ±â¹ÝÀÇ ¿¹¹æ Á¤ºñ(PM) 

   ÃÖÀûÈ­ ±â¹ý ¼÷·Ã
- FDC(Fault Detection and Classification) ¹× SPC¸¦ È°¿ëÇÑ

  °øÁ¤ Á¦¾î ¿ª·®

- ·¹½ÃÇÇ ¹× Çϵå¿þ¾î º¯°æ ½Ã Á¦Ç° ǰÁú¿¡ ¹ÌÄ¡´Â 

  ¿µÇâµµ ºÐ¼® ¹× À§Çè °ü¸® ´É·Â
- ÇØ¿Ü »çÀÌÆ®¿ÍÀÇ ±â¼ú Çù¾÷ ¹× Áö½Ä °øÀ¯°¡ °¡´ÉÇÑ 

   ¼öÁØÀÇ ¿Ü±¹¾î ¼ÒÅë ´É·Â


±Ù¹«Á¶°Ç

  • °í¿ëÇüÅÂ: Á¤±ÔÁ÷(¼ö½À±â°£3°³¿ù)
  • ±Þ¿©Á¶°Ç: ȸ»ç³»±Ô

ÀüÇü´Ü°è ¹× Á¦Ãâ¼­·ù

  • ÀüÇü´Ü°è: ¼­·ùÀüÇü > ¸éÁ¢ÁøÇà > 2Â÷¸éÁ¢ > ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý
  • Ãß°¡ Á¦Ãâ¼­·ù
    À̷¼­, ÀÚ±â¼Ò°³¼­

Á¢¼ö¹æ¹ý

  • Á¢¼ö¹æ¹ý: ÀÎÅ©·çÆ® Á¢¼ö
  • Á¢¼ö¾ç½Ä: ÀÎÅ©·çÆ® À̷¼­

±âŸ À¯ÀÇ»çÇ×

  • ÀÔ»çÁö¿ø¼­ ¹× Á¦Ãâ¼­·ù¿¡ ÇãÀ§»ç½ÇÀÌ ÀÖÀ» °æ¿ì ä¿ëÀÌ Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

00