ÄÉÀ̾¾ÅØ, ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤(Cleaning) ¹× CMP Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾î ä¿ë¿¬°èÇü ÀÎÅÏ ¸ðÁý
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤(Cleaning) Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾î¿Í CMP Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾î µÎ °³ Á÷¹«¿¡ °ÉÃÄ Ã¤¿ë¿¬°èÇü ÀÎÅÏ ¸ðÁýÀ» ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÙ½É °øÁ¤ Àåºñ¸¦ °³¹ß¡¤°ø±ÞÇÏ´Â ÄÉÀ̾¾ÅØÀº CLN ¹× CMP °øÁ¤ ºÐ¾ß¿¡¼ ±Û·Î¹ú °í°´»ç¿Í Çù·ÂÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, À̹ø ä¿ëÀ» ÅëÇØ ÇöÀå ±â¼ú Àü¹®°¡¸¦ »õ·Ó°Ô ¿µÀÔÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
µÎ Á÷¹« ¸ðµÎ °í°´»ç ÇöÀå¿¡¼ Àåºñ°¡ ÃÖ»óÀÇ ¼º´ÉÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¸Ã°Ô µÈ´Ù. CLN Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾î´Â Cleaning Àåºñ À¯Áöº¸¼ö ¹× ±â¼ú Áö¿ø(ºÒÇÕ¸® °³¼±), Cleaning Àåºñ À̼³ ¼Â¾÷, °í°´»ç ´ëÀÀ ¾÷¹«¸¦ ´ã´çÇÏ°Ô µÇ¸ç, CMP Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾î´Â CMP Àåºñ À¯Áöº¸¼ö ¹× ±â¼ú Áö¿ø(ºÒÇÕ¸® °³¼±), CMP Àåºñ À̼³ ¼Â¾÷, °í°´»ç ´ëÀÀ ¾÷¹«¸¦ ¸Ã°Ô µÈ´Ù. ÀÔ»ç ÈÄ¿¡´Â ¾È¼º 1°øÀå Á¦Á¶±â¼úÆÀ¿¡¼ ÀÏÁ¤ ±â°£ ÇöÀå Æ®·¹ÀÌ´×À» °ÅÃÄ Àåºñ ÀÌÇØµµ¿Í ½Ç¹« ¿ª·®À» °®Ãá µÚ CS ¿£Áö´Ï¾î·Î ¹èÄ¡µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
µÎ Á÷¹« ¸ðµÎ ÀüÀÚ¡¤Àü±â¡¤±â°è µî °ü·Ã Àü°ø Àü¹®Çлç(Àü¹®´ëÁ¹) ÇÐÀ§ ÀÌ»óÀ̸é Áö¿øÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Éµ¿ÀûÀÎ À̽´ ÇØ°á ´É·Â°ú ¼ºÀå Áß½ÉÀÇ ÇнÀ ŵµ, Ã¥ÀÓ°¨ Àִ ŵµ¿Í Çù¾÷À» À§ÇÑ ¼ÒÅë ´É·ÂÀ» °®Ãá ÀÎÀ縦 ã°í ÀÖ´Ù. ¿ì´ë»çÇ×À¸·Î´Â ±Û·Î¹ú Ä¿¹Â´ÏÄÉÀÌ¼Ç ¿ª·®(Opic)ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ±¹°¡À¯°øÀÚ ¹× Àå¾ÖÀÎ µî Ãë¾÷ º¸È£ ´ë»óÀÚ´Â °ü°è ¹ý·É¿¡ µû¶ó ¿ì´ëÇÑ´Ù.
CLN Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ±Ù¹«Áö´Â ÄÉÀ̾¾ÅØ ÀÌõ¡¤Ã»ÁÖ¡¤¿ëÀÎ ¿ÀÇǽºÀ̸ç, CMP Àåºñ CS ¿£Áö´Ï¾îÀÇ ±Ù¹«Áö´Â ÄÉÀ̾¾ÅØ ÀÌõ¡¤Ã»ÁÖ¡¤¿ëÀΡ¤ÆòÅà ¿ÀÇǽº´Ù. µÎ Á÷¹« ¸ðµÎ ä¿ë¿¬°èÇü ÀÎÅÏÀ¸·Î ÁøÇàµÇ¸ç, ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº 'ÄÉÀ̾¾ÅØ'ÀÇ È¨ÆäÀÌÁö¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.