ÄÉÀ̾¾ÅØ, ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¿ä¼Ò±â¼ú Á¤¹Ð ¼³°è °æ·ÂÁ÷ 1¸í ä¿ë

ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¿ä¼Ò±â¼ú Á¤¹Ð ¼³°è ´ã´çÀÚ 1¸íÀ» ´ë»óÀ¸·Î °æ·ÂÁ÷ ä¿ëÀ» ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÙ½É °øÁ¤ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿øÃµ ±â¼úÀ» º¸À¯ÇÑ ÄÉÀ̾¾ÅØÀº CMP ¿¬±¸¼Ò ¿ä¼Ò±â¼ú1ÆÀ¿¡ ÇÕ·ùÇÒ ÀÎÀ縦 ã°í ÀÖÀ¸¸ç, ±Ù¹«Áö´Â µ¿ÅºÀÌ´Ù.

À̹ø¿¡ ä¿ëÇÏ´Â Á÷¹«´Â CMP ÀåºñÀÇ ÇÙ½É ¸ðµâ Àü¹Ý¿¡ °ÉÄ£ Á¤¹Ð ±â±¸ ¼³°è ¹× °ËÁõÀ» ´ã´çÇÏ°Ô µÈ´Ù. ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î´Â CMP ÇÙ½É ¸ðµâ Á¤¹Ð ±â±¸ ¼³°è ¹× °ËÁõ, ¹Ì¼¼ º¯Çü¡¤À¯µ¿¡¤¸¶Âû/¸¶¸ð ±â¹Ý ±¸Á¶ ÇØ¼® ¹× ¼³°è ÃÖÀûÈ­ ¼öÇà, CMP Àåºñ ¾ç»ê Àû¿ë °úÁ¤ ³» ±â¼ú Issue ºÐ¼® ¹× °³¼± ´ëÀÀ, RCA¡¤DOE¡¤FEA ±â¹Ý µ¥ÀÌÅÍ Á᫐ ¼³°è °³¼± ¹× ¼º´É °íµµÈ­ ¼öÇà µîÀÇ ¾÷¹«¸¦ °æÇèÇÏ°Ô µÇ¸ç, ´Ü¼ø ºÎǰ ¼³°è¸¦ ³Ñ¾î Àåºñ ÀüüÀÇ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ¼³°è ´Ü°è¿¡¼­ ³»ÀçÈ­ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¸Ã°Ô µÈ´Ù.

Áö¿øÀ» À§Çؼ­´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, °øÀÛ±â°è, ¹æ»ê, Ç×°ø¿ìÁÖ µî ±â°è ¿ä¼Ò ¼³°è °ü·Ã °æ·Â 4³â ÀÌ»óÀ̰ųª, °ü·Ã ºÐ¾ß ¹Ú»ç ¶Ç´Â ÇС¤¼®»ç °ü·Ã ºÐ¾ß 4³â ÀÌ»ó °æ·ÂÀÚ¿©¾ß Çϸç, ±â°è°øÇÐ ¹× Àåºñ ½Ã½ºÅÛ¿¡ ´ëÇÑ Áö½ÄÀ» °®Ãá ºÐÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù. ¿ì´ë»çÇ×À¸·Î´Â »ó¿ë CFD¡¤CAE ÇØ¼® ÇÁ·Î±×·¥ ¿î¿µ ¹× ºÐ¼® °¡´ÉÀÚ, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °ü·Ã ±³À° À̼ö CMP °øÁ¤ ÀÌÇØµµ º¸À¯ÀÚ, ¿µ¾î¡¤Áß±¹¾î¡¤ÀϺ»¾î ȸȭ¿ª·® º¸À¯ÀÚ°¡ ÇØ´çµÇ¸ç, ±¹°¡À¯°øÀÚ ¹× Àå¾ÖÀÎ µî Ãë¾÷ º¸È£ ´ë»óÀÚ´Â °ü°è ¹ý·É¿¡ µû¶ó ¿ì´ëÇÑ´Ù.

À̹ø ä¿ëÀº Á¤±ÔÁ÷À¸·Î ÁøÇàµÇ¸ç ±Ù¹«Áö´Â µ¿ÅºÀÌ´Ù. ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº 'ÄÉÀ̾¾ÅØ'ÀÇ È¨ÆäÀÌÁö¿¡¼­ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.