|
[´ã´ç¾÷¹«] 1. ÀûÃþ ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ(substrate) Coreless Á¦Á¶ ¶óÀÎ ±¸Ãà [¾÷¹«³»¿ë] * ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ ÀûÃþ/Detach ¶óÀÎ ±¸Ãà ¹× °øÁ¤ ǰÁú ¾ÈÁ¤È - ÀûÃþ ¹× 3Layer Detach °øÁ¤ ¹× ¼³ºñ ¼Â¾÷ - ¼³ºñ »ó¼¼ »ç¾ç È®Á¤ ¹× Ç¥ÁØ ¼ö¸³, »ý»ê Á¶±â ¾ÈÁ¤È - DRAM ¹× mobile DRAM¿ë ±âÆÇ(substrate)ÀÇ °øÁ¤ °ü¸® [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ È¸·Î°øÁ¤ °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ±¹³»¿Ü ÆÐŰÁö ±âÆÇ ȸ»ç¿¡¼ ±â¼ú/°³¹ßºÎ¼°æÇèÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(substrate) °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ Coreless°ü·Ã °øÁ¤ ¼³ºñ ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà °æÇèÀÚ
2. ȸ·Î ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ(substrate) Á¦Á¶ ¶óÀÎ ±¸Ãà(ȸ·Î °øÁ¤) [¾÷¹«³»¿ë] * ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ È¸·Î ¶óÀÎ ±¸Ãà ¹× °øÁ¤ ǰÁú ¾ÈÁ¤È - ȸ·Î °øÁ¤(³ë±¤, Çö»ó, ¹Ú¸®, ¿¡Äª) ¼Â¾÷ - ¼³ºñ »ó¼¼ »ç¾ç È®Á¤ ¹× Ç¥ÁØ ¼ö¸³, »ý»ê Á¶±â ¾ÈÁ¤È - DRAM ¹× mobile DRAM¿ë ±âÆÇ(substrate)ÀÇ °øÁ¤ °ü¸® [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ È¸·Î°øÁ¤ °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ±¹³»¿Ü ÆÐŰÁö ±âÆÇȸ»ç¿¡¼ ±â¼ú/°³¹ß ºÎ¼ °æÇèÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(substrate) °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ È¸·Î°ü·Ã °øÁ¤ ¼³ºñ ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà °æÇèÀÚ
3. µµ±Ý ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ(substrate) µµ±Ý °øÁ¤ ¼Â¾÷ ¹× ¾ÈÁ¤È [¾÷¹«³»¿ë] * ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ µµ±Ý ¶óÀÎ ±¸Ãà ¹× °øÁ¤ ǰÁú ¾ÈÁ¤È - µµ±Ý °øÁ¤(µ¿µµ±Ý, ¹«ÀüÇØ µ¿µµ±Ý) ¶óÀÎ ¼Â¾÷ - ¼³ºñ »ó¼¼ »ç¾ç È®Á¤¹× ¼³ºñ ¼Â¾÷ - Ç¥ÁØ ¼ö¸³, »ý»ê Á¶±â ¾ÈÁ¤È, ÷°¡Á¦ ºÐ¼®/°ü¸® - DRAM ¹× mobile DRAM¿ë ±âÆÇ(substrate)ÀÇ °øÁ¤ °ü¸® [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ µµ±Ý ¶óÀα¸Ãà °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ±¹³»¿Ü ÆÐŰÁö ±âÆÇȸ»ç¿¡¼ µµ±Ý À¯°æÇèÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - ÆÐŰÁö ±âÆÇ(substrate)¶óÀÎÀÇ µµ±Ý °øÁ¤ °ü·Ã ¼Â¾÷/±¸Ãà °æÇèÀÚ
4. Àμ⠱â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ(Substrate) Àμ⠰øÁ¤ ±¸Ãà ¹× ¾ÈÁ¤È [¾÷¹«³»¿ë] * ÆÐŰÁö ±âÆÇÀÇ Àμ⠰øÁ¤ ±¸Ãà ¹× Ç°Áú ¾ÈÁ¤È - Àüó¸®, PSR Àμâ, PSR ³ë±¤ ·¹À̾ƿô ¼³°è - ¼³ºñ »ç¾ç È®Á¤ ¹× ¹ßÁÖ - ¼³ºñ ¼Â¾÷ ¹× Ç¥ÁØ ¼ö¸³, »ý»ê Á¶±â ¾ÈÁ¤È [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ PSR ¶óÀÎ ±¸Ãà °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ±¹³» ÆÐŰÁö ±âÆÇ»ç¿¡¼ ÀÎ¼â°øÁ¤ À¯°æÇèÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(Substrate) °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ Àμ⠰ü·Ã ¼³ºñ ¼Â¾÷ ¹× °øÁ¤ ¼Â¾÷ °æÇèÀÚ
5. Ç¥¸éó¸® ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇÀÇ Finish °øÁ¤ ¼Â¾÷ ¹× ¼³ºñ ±¸Ãà [¾÷¹«³»¿ë] * ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ Finish ¶óÀÎ ±¸Ãà ¹× °øÁ¤ ǰÁú ¾ÈÁ¤È - Ni/Au, OSP, ÀÌÁ¾µµ±Ý, ¿¡Ä¡¹é °øÁ¤ ¼Â¾÷ - ¼³ºñ »ó¼¼ »ç¾ç È®Á¤¹× ¼³ºñ ¼Â¾÷ - Ç¥ÁØ ¼ö¸³ ¹× »ý»ê Á¶±â ¾ÈÁ¤È [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ Finish ¶óÀα¸Ãà °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ±¹³» ÆÐŰÁö ±âÆÇ»ç¿¡¼ Finish°øÁ¤ À¯°æÇèÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(substrate) °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇÀÇ Finish°øÁ¤ °ü·Ã ¼³ºñ ¼Â¾÷ ¹× °øÁ¤ ¼Â¾÷ °æÇèÀÚ
6. »ý»ê°ü¸® ±â¼ú ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ(substrate) Á¦Á¶ ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà ¹× ¾ÈÁ¤È [¾÷¹«³»¿ë] * BGA ÆÐ³Î ¶óÀÎ ±¸Ãà ¹× Á¦Á¶±â¼ú ¾ÈÁ¤È - °øÁ¤ ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà ¹× °øÁ¤ ¾ÈÁ¤È - Àη ¿î¿µ ¹× °øÁ¤ ¹°·ù °ü¸® - DRAM ¹× mobile DRAM¿ë ±âÆÇ(substrate)ÀÇ °øÁ¤ °ü¸® [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(substrate) ¶óÀα¸Ãà °æÇè(°æ·Â 10³â ì¤ß¾) - ÆÐŰÁö ±âÆÇ ¶óÀÎÀÇ »ý»ê/±â¼ú Àη ¹× ÀÚ¿ø ¿î¿µ °æÇè - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö¿ë ±âÆÇ(substrate) °³¹ß/±â¼úºÎ¼ ±Ù¹« °æÇèÀÚ - »ý»êºÎ¼ ºÎ¼ÀåÀ¸·Î Àη ¹× ¹°·ù °ü¸® °æÇèÀÚ - ±¹³» ÆÐŰÁö ±âÆÇȸ»ç¿¡¼ »ý»ê°ü¸® °æÇèÀÚ
7. WET ¼³ºñ ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] WET ÅõÀÚ ¼³ºñ PM [¾÷¹«³»¿ë] 1) Àüó¸®, Çö»ó, ¿¡Äª, ¹Ú¸® ¼³ºñ ÅõÀÚ Àü¹®°¡ (ȸ·Î, PSR) 2) µ¿µµ±Ý(Via Fill), Ni-Auµµ±Ý ¼³ºñ ÅõÀÚ Àü¹®°¡ [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ¿ë WET ¼³ºñ(¿¡Äª, µµ±Ý µî) ¼³ºñ ÅõÀÚ °æÇèÀÚ - ¼³ºñ Á¦ÀÛ»ç¾ç¼ ÀÛ¼º, ¾÷ü ±â¼úÇùÀÇ, ¼Â¾÷/¿î¿µ °æÇèÀÚ - °æ·Â 15³â ÀÌ»ó
8. DRY ¼³ºñ ¿£Áö´Ï¾î [Á÷¹«¸í] DRY ÅõÀÚ ¼³ºñ PM [¾÷¹«³»¿ë] 1) ȸ·Î °øÁ¤ ³ë±¤±â(LDI) ¼³ºñ ÅõÀÚ Àü¹®°¡ 2) PSR °øÁ¤ ³ë±¤±â(UV-DI) ¼³ºñ ÅõÀÚ Àü¹®°¡ 3) ±¤ÇÐ ¼³ºñ(CO2, ³ë±¤±â, °Ë»ç±â) ÅõÀÚ Àü¹®°¡ [ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ÆÐŰÁö ±âÆÇ(Substrate)¿ë ³ë±¤±â(ȸ·Î, PSR) ¼³ºñ ÅõÀÚ °æ·ÂÀÚ - ±¤ÇÐ ¼³ºñ ÅõÀÚ °æ·ÂÀÚ - °æ·Â 15³â ÀÌ»ó
|
[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] °æ·Â: °æ·Â 10³â¡è ÇзÂ: ´ëÁ¹ ÀÌ»ó Á÷¹«±â¼ú: »ý»ê±â¼ú
|