ÁÖ½Äȸ»ç ±â»êÇÏÀÌÅØ
»ý»ê Á÷¿ø ¸ðÁý (µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áø°øÀåºñ ºÎǰ)
Á÷¹«³»¿ë
¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áø°ø Àåºñ ºÎǰ »ý»êÀοø ¸ðÁý
(CVD, Dry Etch, ÁõÂø±â µî)
Á÷¹«)
- °æÁú ¾Æ³ë´ÙÀÌ¡ ÄÚÆÃ: Á¤·ù±â / Å©·¹ÀÎ Á¶ÀÛ / °í¾Ð¼¼Ã´±â
- »ý»êǰÁúÈ®ÀÎ, Á¶¸³, Æ÷Àå, ±â°èÁ¶ÀÛ µî
- ±âŸ ¼³ºñ Á¶ÀÛ
¡Ø »ý»ê »óȲ ¹× °³ÀÎ Àû¼º¿¡ ¸ÂÃç Á÷¹« ¹èÁ¤
±Ù¹«½Ã°£ ¹× ÇüÅÂ
ÁÖ 5ÀÏ ±Ù¹«
(±Ù¹«½Ã°£) (¿ÀÀü) 8½Ã 30ºÐ ~ (¿ÀÈÄ) 5½Ã 30ºÐ
ÁÖ¼ÒÁ¤±Ù·Î½Ã°£ : 40½Ã°£
±Þ¿©Á¶°Ç
- ¿ù±Þ 220¸¸¿ø ÀÌ»ó
- ¸éÁ¢ ÈÄ °áÁ¤ °¡´É
Àå¾ÖÀÎä¿ëÈñ¸Á¿©ºÎ
ºñÈñ¸Á
º´¿ªÆ¯·Ê
- ºñÈñ¸Á