ÁÖ½Äȸ»ç ±â»êÇÏÀÌÅØ

»ý»ê Á÷¿ø ¸ðÁý (µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áø°øÀåºñ ºÎǰ)

Á÷¹«³»¿ë

¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áø°ø Àåºñ ºÎǰ »ý»êÀοø ¸ðÁý

(CVD, Dry Etch, ÁõÂø±â µî)

Á÷¹«)

- °æÁú ¾Æ³ë´ÙÀÌ¡ ÄÚÆÃ: Á¤·ù±â / Å©·¹ÀÎ Á¶ÀÛ / °í¾Ð¼¼Ã´±â

- »ý»êǰÁúÈ®ÀÎ, Á¶¸³, Æ÷Àå, ±â°èÁ¶ÀÛ µî

- ±âŸ ¼³ºñ Á¶ÀÛ

¡Ø »ý»ê »óȲ ¹× °³ÀÎ Àû¼º¿¡ ¸ÂÃç Á÷¹« ¹èÁ¤

±Ù¹«½Ã°£ ¹× ÇüÅÂ

ÁÖ 5ÀÏ ±Ù¹«

(±Ù¹«½Ã°£) (¿ÀÀü) 8½Ã 30ºÐ ~ (¿ÀÈÄ) 5½Ã 30ºÐ

ÁÖ¼ÒÁ¤±Ù·Î½Ã°£ : 40½Ã°£

±Þ¿©Á¶°Ç

- ¿ù±Þ 220¸¸¿ø ÀÌ»ó

- ¸éÁ¢ ÈÄ °áÁ¤ °¡´É

Àå¾ÖÀÎä¿ëÈñ¸Á¿©ºÎ

ºñÈñ¸Á

º´¿ªÆ¯·Ê

- ºñÈñ¸Á